네덜란드의 반도체칩 장비업체인 ASML이 지난해 전면적인 장비 수출 금지 조치가 발효되기 몇주 전에도 미국 정부의 요청으로 중국으로의 상품 출하를 중단한 것으로 밝혀졌다. 이 조치는 네덜란드 정부가 아닌 미 정부의 직접적인 요청으로 이뤄졌던 것으로 보인다.
2일(현지시간) 블룸버그통신에 따르면 네덜란드는 지난해 1월까지 심자외선(DUV) 리소그래피 기계 3대를 중국 기업에 보낼 수 있는 라이선스를 보유했다. 그러나 사안에 정통한 익명의 소식통에 따르면 미국 관리들은 ASML에 연락해 선적이 예정된 일부 장비의 중국 선적을 즉시 중단할 것을 요청했다.
ASML은 2019년부터 네덜란드 정부의 불허로 세계에서 유일하게 생산하는 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비는 중국에 수출하지 못했지만, 구세대 장비인 DUV 노광장비는 수출하고 있었다. 하지만 지난해 1월에 이 수출도 금지됐다.
소식통은 미국의 요청에 따라 일부 장비 배송이 취소되었다고 말했지만 개당 수천만 달러에 달하는 장치 중 몇 개가 관련되었는지는 확실히 밝히지 않았다.
ASML은 이 사안에 대해 네덜란드 정부가 이들 리소그래피 장비에 대한 중국 수출 허가를 부분적으로 취소하여 중국 내 소수의 고객에게 영향을 미쳤다고 확인해 주었다. 관계자들에 따르면 제이크 설리번 백악관 국가안보보좌관은 지난해 말 이 문제와 관련해 네덜란드 정부와 전화 통화를 했다. 네덜란드 관리들은 미국에 해당 장비 선적 관련해 ASML에 직접 연락해 줄 것을 요청했다고 밝혔다.
백악관 국가안보회의(NSC) 대변인과 네덜란드 외무부 대변인은 논평을 거부했다.
